图解入门:半导体制造..图解入门:半导体制造设备基础与构造精讲 原书第3版pdf下载图解入门:半导体制造设备基础与构造精讲 原书第3版pdf下载图解入门:半导体制造设备基础与构造精讲 原书第3版pdf下载
本书以简洁明了的结构向读者展现了半导体制造工艺中使用的设备基础和构造。全书涵盖了半导体制造设备的现状以及展望,同时也对清洗和干燥设备、离子注入设备、热处理设备、光刻设备、蚀刻设备、成膜设备、平坦化设备、监测和分析设备、后段制程设备等逐章进行解说。虽然包含了很多生涩的词汇,但难能可贵的是全书提供了丰富...