海纳光学提供的离轴抛物面镜 (OAP) 的表面粗糙度值也是默认指Ra值,其值为100Å(RMS)。其中Å表示10的-10次方,100Å即为10nm,这个数据在同行中也是具有很强的竞争力的。
精度定义为与理想面的偏离值,单位用波长来表示,分RMS和PV。RMS: Root-Mean-Square【数】均方根(值);PV:Peak Value最大差别值/峰值
1. 干涉仪法:干涉仪法是一种基于光学干涉原理的精密测量方法,用于测量面形精度。在干涉仪中,一束光...
如果指的是光学透镜面型精度,单位是λ。λ是干涉仪所使用的氦氖激光器的波长632.8nm。PV值是PeaktoValley(峰值与谷值的差值),RMS值是RootMeanSquare(均方根值),根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状,大多使用PV值来表示。PV值是表面不平整度的一个衡量指标。表面最高值...
图2.2表面误差对反射光波面的影响 山形精慢计价方法州究 第一章:丽形精度的主受评价指标 2.3,3均方根值 Mean 均方根值(RMS,Root Square)是被检波面相对于参考波面的均方根偏离,如 图2.1所示,它和峰谷值一样是评价面形的主要指标。设通光孔为圆孔,则波面均方 根值用公式表示为: 嬲=仁r。f[△№期一面...
单晶硅、熔石英和金属铝是激光通信终端反射镜较多选用的三种材料,天创精工系统掌握这三种材料镜片的全套高精度加工工艺,RMS最高可达1/100λ。本次分享的单晶硅加工实例采用磁流变工艺,主次镜单个零件精度均达RMS 1/50λ,组合光路反射波前精度约为RMS 1/30λ。图1 单晶硅
用来描述表面粗糙度的参数和测量方法,其中包括了RMS(均方根)粗 糙度、RA(平均粗糙度)和Rz(最大尺寸)等参数和测量方法。 2.表面偏差标准 表面偏差是指表面形貌与理想曲面形状的偏差,它包括了表面形 状误差和表面波前误差。表面偏差标准是用来描述表面偏差的参数和 ...
按照平原、丘陵和山区通过选取DOM影像与实测检查点的同名点,计算其较差的中误差来评定影像校正精度。精度评定公式如下:式中:rms——点位中误差;n——检查点个数;ui——DOM影像上检查点的x、y坐标;vi—GPS外业检查点的x、y坐标。本次按平原、丘陵和山区三种不同地形分别进行DOM精度评定,平原区...
研究人员采用离轴抛物镜等光学曲面进行了实验验证,结果显示所提出的偏折测量方法的精度优于150 nm RMS,从而可以解决因复杂光学曲面在粗加工阶段面形偏差超出干涉量程,以至于后续工艺规划难以进行的问题。 该研究获得了国家自然科学基金等项目资助,相关成果以“面向精密制造的光学自由曲面在位偏折测量技术”为题发表在《光电...